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何謂 mems 製程
2019年1月3日—MEMS(MicroElectroMechanicalSystem),中文為微電子機械系統;MEMS是利用半導體製程技術,整合電子及機械功能製作而成的微型裝置,在裝置上既擁有 ...,隨著MEMS技術在消費電子應用的快速崛起,及半導體製造接近極限,透過TSV技術整合MEMS與CMOS製程,...
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用語,說明.MEMS,MicroElectroMechanicalSystems的縮寫。具有微小的立體結構(三維結構),是處理各種輸入、輸出信號的元件、系統的統稱。
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